吉时利源表在电子薄膜材料表面电阻测试的解决方案

吉时利源表在电子薄膜材料表面电阻测试的解决方案

某一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度的材料成为薄膜材料，理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已经被称为二维材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金属或有机物层。

电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战：

●电子薄膜种类多，电阻率特性不同

需选择适合的SMU进行测试

●被测样品形状复杂，需选择适当的修正参数

厚度修正系数对测试结果的营销F（W/S）

原片直径修正系数对测试结果的营销

温度修正系数对测试结果的影响

●环境对测试结果有影响

●利用多次平均提高测试精度

需考虑测试成本

吉时利电子薄膜材料测试方案：

1、 通用配置

a.吉时利源表2450/2460/2461

b.四探针台（间距1mm）

c.测试软件（安泰测试系统集成可开发）

2、高阻电子薄膜材料测试方案

a.6221/2182A+6514X2+2000DMM

b.第三方探针台

c.手动或软件编程

方案优势：

1、 不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求

2、 高精度源表，即可手动测试，也可以编程自动测试

3、 高性价比