芯明天XYZ三维大行程压电纳米定位台

芯明天XYZ三维大行程压电纳米定位台

XD601.XYZ100压电平台

XD601.XYZ100是以压电陶瓷为驱动源并采用放大机构的3维直线运动平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度。

1.XYZ三维运动

2.行程范围X180μm，Y180μm，Z300μm

3.分辨率XY2nm，Z4nm

4.承载能力200g

XD602压电平台

XD602内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，内置高性能压电陶瓷，可实现200μm位移。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有较高的导向精度，同时具有较好的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

1.XYZ 三维运动

2.行程范围200μm/ 轴

3.分辨率8nm

4.承载能力300g

P15.XYZ300压电平台

1.XYZ三维运动

2.行程范围300μm/ 轴

3.分辨率6nm

4.通孔尺寸66×66mm

5.承载能力500g

P18.XYZ200压电平台

1.XYZ三维运动

2.行程范围200μm/轴

3.分辨率5nm

4.通孔尺寸Ø35mm

5.承载能力800glw