三维压电扫描台在显微镜探针校准中的应用

三维压电扫描台在显微镜探针校准中的应用

特点：XYZ三维直线运动，通孔尺寸66×66mm，设计紧凑、性能卓越，固态铰链确保高可靠性，纳米级/亚纳米级高分辨率，行程范围300μm/轴，可选配闭环传感器，阶跃时间，闭环上升曲线，满行程阶跃时间60ms。

技术参数：

型号：P15.XYZ300；运动自由度：XYZ；行程范围（0~120V）：240μm/轴；行程范围（0~150V）：300μm/轴；闭环传感器：SGS。

通孔尺寸：66×66mm；闭/开环分辨率：13/6 nm；闭环线性度：0.2%F.S；闭环重复定位精度：0.1%F.S；俯仰/偏航/滚动：<30μrad；推/拉力：50/10N；运动方向刚度：0.1N/μm；空载谐振频率（X/Y/Z）：450/550/120Hz；闭/开环空载阶跃时间：60/10ms。

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