MEMS技术被中国工程院院士称之为颠覆性技术

MEMS技术被中国工程院院士称之为颠覆性技术

本次会议中，中国工程院院士、清华大学副校长尤政详细介绍了颠覆性技术——微机电系统（MEMS）， 并对青岛市崂山区的创新和创业环境给予了高度评价。​

中国工程院院士、清华大学副校长尤政​

近日，“千人计划”专家联谊会创新企业家专委会2017年年会在青岛市崂山区举办，100多位“千人计划”专家齐聚青岛崂山，围绕“技术、创业、资本、产业”共商人才与产业发展大计。本次会议中，中国工程院院士、清华大学副校长尤政详细介绍了颠覆性技术——微机电系统（MEMS）， 并对青岛市崂山区的创新和创业环境给予了高度评价。​

伟大的“智能灰尘（Samrt Dust）”​

太湖蓝藻调查过程中，可能会花10万元采集数据，但使用“智能灰尘”可能几百元、几千元就可以完成……​

MEMS技术和微电子技术最大的区别就是，微电子是二维工艺，微系统是三维架构。“智能灰尘”技术有着无可比拟的特点：微型化、低成本、功耗低、高可靠。“智能灰尘”重量、尺寸都要小，成本更低。有人说， “智能灰尘”做小了，就是个玩具，实际上却是高精度、高度集成。比如智能子弹将来不用瞄准，打出去子弹自己命中目标。​

“智能灰尘”有着巨大的市场潜力。“最大的一个市场是智能手机，MEMS技术挽救了手机。智能手机这么好就是因为用了MEMS传感器。”尤政说，“如果一个MEMS传感器在一个手机里赚一块钱，带来的收益多大，大家可以想象。山东知名企业歌尔股份就是通过MEMS技术制作硅麦克风，创造了百亿元的产值。目前，传统驻极体麦克风90%的市场被MEMS技术替代。​

中国市场应带动核心MEMS技术发展​

尤政院士表示，中国智能制造机器人是全球最大的市场，但目前中国机器人应用情况令人堪忧。国内巨大市场最终要带动中国核心技术（如MEMS传感器）和中国产品的发展。“在改革开放前三十年，我们没有卖过一项专利，因为专利是国有的。”尤政告院士诉记者，2015年以后，他们有了技术转移院，可以代国家转让技术，从2016年到2017年，一年过程中有8个多亿的资金转化。​

微电子技术时代，只要有一家技术领先的，其他都要关门。而MEMS技术不一样，你能做这种传感器不代表你能做那种传感器，对产业化发展提供了机会。尤政院士表示，下一步要发挥大企业的产业化作用，鼓励专精特小企业的发展，将政府和市场竞争相结合，把人才培养、优惠政策和产业集聚相结合，为国家MEMS发展开辟一条光明之路。​

关于微纳制造、器件与系统协同创新中心​

9月22日，由清华大学牵头发起联合组建的“微纳制造、器件与系统协同创新中心”在清华大学主楼接待厅举行培育启动仪式。清华大学副校长薛其坤，重庆大学副校长李茂国，北京遥测技术研究所所长李艳华等13位协同创新单位代表出席启动仪式，并共同签署“微纳制造、器件与系统协同创新中心”组建培育协议。​

该中心由清华大学牵头，联合北京大学、上海交通大学、东南大学、重庆大学、天津大学等六所高校发起，携手淄博国家高新区MEMS研究院、陕西宝成航空仪表有限责任公司、中国空空导弹研究院、中国兵器工业集团第二一四研究所、北京遥测技术研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国航天科技集团钱学森空间实验室组建培育。​