全球首个新式晶圆级磁集成技术的二维薄膜磁芯

网友投稿 768 2022-12-17

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全球首个新式晶圆级磁集成技术的二维薄膜磁芯

· 新研发平面磁合金

· 兼容CMOS且经济高效的批量生产工艺

FCA具有高电阻率、低矫顽力,且能在频率高于20MHz时保持高度有效的渗透性。FCA高度的磁饱和性使其适于用作电源电路的单层或多层,与倒装芯片、焊丝与焊锡回流封装法相容。

Enpirion开发出的整体工艺模块可利用低成本的电镀装置将FCA安装到6英寸或8英寸的圆片上。这一技术已经在今年早些时候嵌入应用至一台圆片批量生产设备,Enpirion利用该设备产出了全球成本最低、噪声敏感的低功率POL直流-直流转换器、1安培EL711、1.5安培EL712以及全球首个基于电镀晶圆级磁集成的电源单芯片系统。

DC-DC电源转换器集成路线图

FCA应用程序的照片

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